氣體循環冷卻羅茨泵、前級泵抽速、壓縮比抽速、壓縮比是羅茨泵的特征性能數據。理論抽速 Sth = S0是泵在無反壓力下置換的體積流量。在無氣體置換（入口法蘭關閉）操作時的壓縮比 K0 取決于出口壓力 p2。抽速范圍從 200 m3 · h -1 到幾千 m3 · h-1。典型的 K0 值在 10 和 75之間。

羅茨真空泵壓縮比受到兩方面的不利影響：

1.回流到活塞和殼體之間的間隙

2.通過活塞表面吸附而沉積在出口側并在轉向吸入側后又重新解吸的氣體。在出口壓力為 10-2 至 1 hPa 的情況下，分子流在密封間隙中占主導地位，由于其低電導率，這導致少量回流。然而，通過吸附被吸回的氣體體積，這與泵送的氣體體積相比相對較高，降低了壓縮比。

在 1 至 10 hPa 范圍內，K0 是最高的，因為分子流因泵密封間隙的低入口壓力而仍然占主導地位，因此回流較低。由于通過吸附的氣體輸送不是壓力的作用，它遠沒有通過抽速輸送的壓力比例氣體流量重要。

在壓力超過 10 hPa 時，間隙中出現層流且間隙電導率顯著增加，這導致壓縮比下降。這種影響在氣冷羅茨泵中特別明顯，該泵實現的壓縮比僅約為 K0 = 10。

間隙寬度對壓縮比具有重大影響。然而，由于活塞與殼體不同的熱膨脹，它們不得低于一定的最小值，以避免轉子和定子接觸。

由于其低壓縮比，羅茨真空泵必須始終作為泵組合進行操作，用于產生真空。它們可實現的最終壓力將是所選前級泵極限壓力產生的結果。由于通過吸附的氣體輸送，在范圍低于 10-4hPa 下使用羅茨泵不再可行。具有各種前級泵的泵站的抽速和極限壓力表現如好凱德真空科技下圖所示。該曲線清楚地表明，這種泵組合的抽速上升了 8 倍，其極限壓力相對于前級泵下降了 15 倍。