真空泵廠家對于各種真空泵抽氣速度測試的來源已久，1910年左右已經(jīng)開始了真空泵抽速的理論計算，初步建立了一些真空泵抽速側(cè)試方法。國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)已公布了有關(guān)真空泵抽速測試規(guī)范(IS01607/1和IS01608/1)，有些國家頒布了符合本國國情真空泵抽速測試標(biāo)準(zhǔn)，如德國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會的DIN28428,美國真空泵測試標(biāo)準(zhǔn)等。國內(nèi)也頒布了真空泵抽速的行業(yè)測試標(biāo)準(zhǔn)，這為真空泵抽速測試標(biāo)準(zhǔn)的建立創(chuàng)造了必要的條件。

由于真空泵的種類繁多，真空泵抽速測試方法不統(tǒng)一，生產(chǎn)廠家在真空泵抽速測試方法上存在著一定的分歧，由于沒有法定計量單位對真空泵抽速進(jìn)行測試，無法評價生產(chǎn)廠家的真空泵產(chǎn)品質(zhì)量，使真空泵性能測試結(jié)果缺乏一定的可信度，用戶在真空泵的選擇上存在一定的盲目性。

隨著真空測量技術(shù)不斷進(jìn)步，這些行業(yè)測試標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)不能滿足要求，需要研究和規(guī)范真空泵抽速測試方法，建立真空泵抽速測試標(biāo)準(zhǔn)和真空泵性能綜合測試和評價系統(tǒng)，在計量單位開展真空泵性能指標(biāo)的測試工作，使用戶客觀公正地了解真空泵的性能指標(biāo)，有助于提高我國真空泵的產(chǎn)品質(zhì)量。

抽速是真空計量的基本參數(shù)之一。通過真空泵抽速測試技術(shù)研究，制定真空泵抽速的測試規(guī)范，建立低真空泵和高真空泵的抽速測試裝置，建立低真空泵和高真空泵性能指標(biāo)測試和評價系統(tǒng)，規(guī)范真空泵抽速測試方法，開展真空泵性能指標(biāo)的測試服務(wù)，為真空泵生產(chǎn)廠家提供報務(wù)。

Sp=Kq*(V/S)*ln(Pi/P)

t 抽氣時間{s}

Sp 泵的名義抽速{L/S}

V 真空設(shè)備容積{L}

P 經(jīng)t時間抽氣后的壓力{Pa}

Pi 設(shè)備開始抽氣時的壓力{Pa}

Kq 修正系數(shù)，與設(shè)備終止時的壓強P有關(guān)

100Pa時 Kq可取2或者1.5

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